壁面剪切力对缓蚀剂吸附脱附的影响研究

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【摘要】

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【作者】

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王贝贾巧燕王赟张雷李清平常炜姚海元

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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缓蚀剂壁面剪切力环路吸附脱附

【基金项目】

：

国家科技重大专项基金资助项目(No.2016ZX05028-004)

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