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本文研究了从大面积真空容器上部直接照射方式产生的表面波等离子体的特性。给出了这种方式等离子体的着火条件，密度特性和密度分布。这种表面波等离子体已成功应用于离子加工机，作为离子引出源，获得了高密度离子束。
表面波等离子体特性的研究
【摘 要】
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本文研究了从大面积真空容器上部直接照射方式产生的表面波等离子体的特性。给出了这种方式等离子体的着火条件，密度特性和密度分布。这种表面波等离子体已成功应用于离子加工
【机 构】
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大连海事大学环境学院
【出 处】
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第十二届全国微波能应用学术会议
【发表日期】
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2005年期
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