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ＳｉＮ<,4>与ＳｉＮｘＨｙ两种氢离子敏感膜特性比较
【机 构】
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大学
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
其他文献
针对目前国内电厂在发电机气体置换时，所选用的发电机气体置换方法存在不足，提出开发一种新的复合式气体置换法。该方法充分吸取了中间介质置换法和真空置换法的各自优点，在保证