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在3—5μm红外波段,用PtSi/P-Si肖脱基势垒二极管(SBD)作为探测器的64位IRCCD摄像器件已经研制出来。探测器做成光腔结构,量子效率可提高近一个数量级。探测器加有保护环,可降低探测器的暗电流。采取长时间低温退火工艺,大大改善了器件的均匀性。PtSiSBD的势垒高度在0.20—0.23ev的范围,相应的截止波长为6.2—5.4μm,可用作3—5μm范围大气窗口的热成像。(本刊录)