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针对半导体生产线调度复杂、难以优化的问题,提出基于模拟退火算法的半导体生产线优化调度策略。该调度策略综合考虑生产线的投料控制和工件调度,采用基于规则的编码,将规则的简洁性与模拟退火算法的强大搜索能力相结合,以Metropolis准则作为新解接受标准,以冷却进度表的参数控制退火进程,从而在较短时间内给出使整体性能指标达到最优的调度规则组合。通过优化算法的调度,系统在不同的调度阶段可采用不同的调度规则。仿真结果显示,该方法优于单一启发式规则和遗传算法。