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声表面波(SAW)滤波器件为层状结构,对晶体材料、切割方向和膜厚、温度稳定性等有一定要求.薄膜内应力和IDT特性是SAW器件产生频率漂移的原因,本文讨论了纳米薄膜对SAW器件稳定性的影响.
纳米薄膜对SAW器件稳定性影响
【摘 要】
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声表面波(SAW)滤波器件为层状结构,对晶体材料、切割方向和膜厚、温度稳定性等有一定要求.薄膜内应力和IDT特性是SAW器件产生频率漂移的原因,本文讨论了纳米薄膜对SAW器件稳
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系(北京)
【出 处】
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全国新材料及其应用学术会议
【发表日期】
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2003年期
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