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本文以相移干涉技术和原子力显微镜对纳米量级厚度金属薄厚的测量结果为研究对象，分析了不同厚度的AL，Au薄膜表面反射光的相位变化量，获得了相位变化量随薄膜厚度变化的关系，相关的实验结果一方面为进一步实现薄膜材料的光学干涉计量误差补偿技术研究打下了一定的基础，另一方面也为薄膜材料反射光相位变化特性的测量提供了一种新的方法。