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直流磁控溅射制备非晶碳膜结构性能研究
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000
【出 处】
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第九届全国摩擦学大会
【发表日期】
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2009年期
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