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研究了用HF-HNO<,3>微波分解样品后,直接采用ICP-MS法测定铌酸锂中15种微量杂质元素的分析方法.通过实验优化了仪器工作参数,并针对待测元素的特性选择了不同的内标元素进行校正,克服了基体效应.实现了多种元素同时快速测定.方法的回收率在80%~120%之间,相对标准偏差小于10%,各元素检出限为0.005ng/mL~0.15ng/mL.