【摘 要】
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采用一维流体模型,针对平行板电容耦合放电结构,研究了放电的参数特性.通过数值计算得到了氩气压强为1torr,电压为1～2kV,放电稳态时的电场分布、电子数密度分布和电子温度
【机 构】
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南京理工大学 理学院,江苏 南京 210094
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采用一维流体模型,针对平行板电容耦合放电结构,研究了放电的参数特性.通过数值计算得到了氩气压强为1torr,电压为1～2kV,放电稳态时的电场分布、电子数密度分布和电子温度分布.模拟结果表明电子主要分布在两电极鞘层之间,且电子数密度随电压升高而增大,在2000V时电子数密度的峰值可达到1017m-3.电子温度在电极鞘层里有最大值,可达20eV以上,在等离子体区域则为2-3eV.
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