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本文讲述了为进行真空设备密封性破坏试验而设计的一套装置，该装置能够在真空设备上制造出漏率范围从5×10-6Pa·m3/s至1×10-2Pa·m3/s的漏孔，并且漏率可以实时、连续、准确的调节和随时进行标定，调节的漏率具有很好的稳定性，解决了此类试验的关键技术。
真空设备密封性破坏试验装置的设计
【摘 要】
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本文讲述了为进行真空设备密封性破坏试验而设计的一套装置，该装置能够在真空设备上制造出漏率范围从5×10-6Pa·m3/s至1×10-2Pa·m3/s的漏孔，并且漏率可以实时、连续、准确的调节和随时进行标定，调节的漏率具有很好的稳定性，解决了此类试验的关键技术。
【机 构】
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核工业理化工程研究院天津市河东区津塘路168号 300180
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
【发表日期】
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2011年6期
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