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介绍MEMS器件中常用的键合技术和适应于真空密封和器件性能要求的特殊结构设计,以及提高和保持器件高真空环境的方法.合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能,同时可以简化工艺步骤,降低器件成本。
用于MEMS器件的真空密封技术
【摘 要】
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介绍MEMS器件中常用的键合技术和适应于真空密封和器件性能要求的特殊结构设计,以及提高和保持器件高真空环境的方法.合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能,
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院,200030
【出 处】
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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会
【发表日期】
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2004年期
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