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基于改进的偶应力理论和Timoshenko梁理论,主要研究了原子力显微镜微悬臂梁的弯曲振动.利用差分法解方程得到振动频率和振动的模态形状,讨论了表面刚度、长度尺度参数和探针的位置对原子里显微镜悬臂梁振动的影响.
原子力显微镜微悬臂梁的振动分析
【摘 要】
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基于改进的偶应力理论和Timoshenko梁理论,主要研究了原子力显微镜微悬臂梁的弯曲振动.利用差分法解方程得到振动频率和振动的模态形状,讨论了表面刚度、长度尺度参数和探针
【机 构】
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北京交通大学力学系,北京100044
【出 处】
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2015中国力学大会
【发表日期】
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2015年8期
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