【摘 要】
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微纳制造技术主要指特征尺寸为微米至纳米量级的制造技术,涉及微电子制造、微/纳机电系统制造、光电子制造、超精密加工等内容。本文就微纳制造技术所涉及的微传感器、微能源
【机 构】
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机械制造系统工程国家重点实验室西安交通大学;
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微纳制造技术主要指特征尺寸为微米至纳米量级的制造技术,涉及微电子制造、微/纳机电系统制造、光电子制造、超精密加工等内容。本文就微纳制造技术所涉及的微传感器、微能源、微系统、精密超精加工技术等进行了论述,并简要介绍3了西安交通大学精密工程研究所在纳米样板、超微电极、微流控芯片、微型内燃机、微型耐高温压力传感器、高g值加速度计、MEMS集成传感器、微型三坐标测量机和三维轮廓测量系统方面的研究。
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