【摘 要】
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通过水热法,将Ti02纳米阵列定向生长在Au插指电极之间,纳米棒沿着金电极表面向外生长,纳米阵列疏松多孔,直径大约20nm,长度大约500nm.并分别在6％～97％的相对湿度条件下测量样品的
【机 构】
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航空工业成都凯天电子股份有限公司,四川成都610091
【出 处】
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2017年航空智能装备与试验测试技术峰会暨学术交流会
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通过水热法,将Ti02纳米阵列定向生长在Au插指电极之间,纳米棒沿着金电极表面向外生长,纳米阵列疏松多孔,直径大约20nm,长度大约500nm.并分别在6％～97％的相对湿度条件下测量样品的交流电容(C)和交流阻抗(Z)变化达到3个数量级.最好的线性性和最小的湿滞是测量频率为400Hz时的交流阻抗,此时纳米湿度传感器的响应和恢复时间分别是1s和3s,明显比纳米颗粒型的湿度传感器具有更高的灵敏度和响应特性,这可能是由于Ti02纳米阵列的结构可以形成较好的水汽通道,有利于水分子进出,因此湿度传感器有着较好的灵敏度和响应速度.
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