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提出并实现了应用半导体激光器、单模光纤与位相板相结合的准直技术和面阵CCD作为接收器的测量大型工件面间平行度、垂直度的测量方案,采用准直光束通过位相板后的衍射图样中心作为测量的基准,经五角棱镜扫描建立相互平行或垂直的测量基准面,通过CCD探测系统确定各测点与基准面相应点的偏差,最后由计算机评定出平面度、平行度和垂直度误差值。在10米的测量范围内,测量系统可实现的测量精度为:±(1.4+1.3×10〈’-6〉L)μm。