旋转超声电机微位移瞬态非线性机理及控制方法研究

来源 :第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016) | 被引量 : 0次 | 上传用户:vivien2009
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针对微纳定位和操作的需求,开展旋转行波超声电机亚微弧级位移的瞬态非线性机理和控制方法研究,探究兼顾转速和精度、结构简洁、断电自锁的微纳旋转定位/进给新技术.从中总结、提炼出稳定性高、鲁棒性强、具备亚微弧级位移功能的超声电机设计理论和控制方法,为微纳定位/进给等操作提供新的解决方案.
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