论文部分内容阅读
针对基于R矩阵法的传统严格耦合波分析(RCWA)算法分析一维超薄周期结构时存在效率低下的问题,本文利用一阶泰勒展开,对传统算法进行了改进,提出了一种无需求解本征矩阵特征值的高效RCWA算法。数值仿真算例表明,与传统算法相比,改进算法所需计算时间仅为传统算法的1/2,计算效率提升50%以上。