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首先综述了我国半导体产业近年发展概况，并对我国半导体产业扶持政策做了介绍和评述。在结合半导体工艺用气的基础上，论述了特气相关行业的配套发展问题，同时也介绍了世界及我国知名特气企业的应对措施．
半导体业的发展带来特气行业的机遇与挑战
【摘 要】
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首先综述了我国半导体产业近年发展概况，并对我国半导体产业扶持政策做了介绍和评述。在结合半导体工艺用气的基础上，论述了特气相关行业的配套发展问题，同时也介绍了世界及我国
【机 构】
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光明化工研究设计院，辽宁大连116031
【出 处】
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全国特种气体第十二次年会
【发表日期】
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2008年11期
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