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本文证明了枕型二维PSD设计的基本原理-Gear定理,并指出了适用于枕型二维PSD的位置计算公式，此外本文还提出了枕型PSD的制作工艺和测试结果。采用IC工艺技术所研制的枕型PSD器件表现出良好的光电特性和测量准确度，测试表明，其位置线性度可比四边形二维PSD高出一个数量级，达到了1.1 ﹪。
枕型二维位置敏感探测器(PSD)的研制
【摘 要】
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本文证明了枕型二维PSD设计的基本原理-Gear定理,并指出了适用于枕型二维PSD的位置计算公式，此外本文还提出了枕型PSD的制作工艺和测试结果。采用IC工艺技术所研制的枕型PSD器
【机 构】
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浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,310027,杭州;浙江大学物理系,310027,杭州浙江大学物理系,310027,杭州
【出 处】
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中国光学学会2004年学术大会
【发表日期】
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2004年4期
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