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本文描述了一种应用线阵ＣＣＤ进行边沿对准的技术方法，这种方法不但能进行自动对准还能获得边沿形状分析。
ＣＣＤ用于自动对准
【摘 要】
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本文描述了一种应用线阵ＣＣＤ进行边沿对准的技术方法，这种方法不但能进行自动对准还能获得边沿形状分析。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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第五届全国光电技术及系统学术会议
【发表日期】
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1993年期
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