【摘 要】
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介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把
【机 构】
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装备指挥技术学院士官系 北京 102200
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介绍了一种可用于精密平面测量的新方法,以柱面透镜产生的激光平面作为基准平面,凭借激光平面的稳定性进行系统的精密测量。先利用激光平面产生系统将点光源变成线光源,即把线状光束变成光平面,位置敏感元件PSD安装在被测平面的测量靶上。测量靶一边移动,PSD一边拾取激光平面信号,经放大滤波、A/D转换、单片机(MCU)数据处理后,将结果输送到显示屏(LED)。通过实验测试表明,整个系统的不确定度优于3μm,系统的分辩力在1gm以内,测量范围目前4m以内。稳定性良好,可用于精密测量领域中的平面测最。
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