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采用准连续介质多尺度方法模拟FCC(面心立方)。铝，银，镍和钯四种金属单晶薄膜纳米压痕的变形过程。针对四种金属分别采用四种不同的压头宽度，得出载荷一位移响应曲线和应变能变化曲线。结果表明：针对同种金属，压头宽度越大，晶体产生塑性变形的临界载荷越大，求得材料的硬度越小；模拟观察了位错成核现象，了解到载荷一位移响应曲线的突降是由位错成核现象所引起；最后分析了四种金属在原子层次下的变形机理。