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Surface amorphization of silicon during Ga+ focused-ion beam milling
【机 构】
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Fraunhofer-InstitutfürWerkstoffmechanikIWM,W(o)hlerstrafβe11,79108Freiburg,Germany
【出 处】
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9th International Conference on Computer Siumlaation of Radi
【发表日期】
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2008年10期
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