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大口径平面光学元件的加工流程中，全口径快速抛光主要用于快速去除前级加工引入的表面/亚表面缺陷，并实现元件面形的初步收敛，元件面形的最终精度仍需后续其他抛光技术完成。
大口径平面光学元件的确定性全口径快速收敛抛光技术研究
【摘 要】
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大口径平面光学元件的加工流程中，全口径快速抛光主要用于快速去除前级加工引入的表面/亚表面缺陷，并实现元件面形的初步收敛，元件面形的最终精度仍需后续其他抛光技术完成。
【机 构】
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四部
【出 处】
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全国激光科学技术青年学术交流会
【发表日期】
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2015年3期
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