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会议论文
不引入测头瞄准误差的内外径比长仪
不引入测头瞄准误差的内外径比长仪
来源 :全国计量测试学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shilei41193
【摘 要】
:
该文提出一种用于精密工件内外径测量的激光比长装置,采用双光路测长方案能消除阿贝误差。由于测球、测量镜和参考镜共同装在一个单悬臂测杆上,不会引入测头瞄准误差。一个位移
【作 者】
:
刘海宁
李真
张国雄
【机 构】
:
大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
:
全国计量测试学术大会
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
测头
瞄准误差
外径测量
测量不确定度
系统分辨力
位移传感器
工件
阿贝误差
双光路
单悬臂
触测力
长方案
装置
精密
监控
激光
测杆
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该文提出一种用于精密工件内外径测量的激光比长装置,采用双光路测长方案能消除阿贝误差。由于测球、测量镜和参考镜共同装在一个单悬臂测杆上,不会引入测头瞄准误差。一个位移传感器用来监控测球与工件之间的接触测力。目前系统分辨力为0.01μm,测量不确定度优于0.1μm/100mm。
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