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会议论文
晶体硅扩散层有效杂质浓度分布的测量
晶体硅扩散层有效杂质浓度分布的测量
来源 :第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shengaogao3
【摘 要】
:
本文利用阳极氧化去层结合四探针测量方块电阻的方法可以得到半导体扩散层中有效杂质浓度分布曲线。通过提出一个分段函数对n 型硅的迁移率实验曲线进行拟合,使得分布曲线与实
【作 者】
:
屈盛
刘祖明
廖华
陈庭金
【机 构】
:
云南师范大学太阳能研究所,云南省农村能源工程重点实验室,云南,昆明,650092
【出 处】
:
第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
晶体硅
扩散层
有效杂质浓度分布
分布曲线
阳极氧化
探针测量
实验曲线
分段函数
方块电阻
迁移率
半导体
拟合
方法
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本文利用阳极氧化去层结合四探针测量方块电阻的方法可以得到半导体扩散层中有效杂质浓度分布曲线。通过提出一个分段函数对n 型硅的迁移率实验曲线进行拟合,使得分布曲线与实际分布更加接近。
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