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外差干涉仪是使用两种不同频率的单色光作为测量光束和参考光束,通过光电探测器的混频,输出差频信号,被测物体的变化如位移、振动、转动、大气扰动等引起的光波相位变化或多普勒频移载于此差频上,经解调即可获得被测数据的仪器。外差干涉仪具有测量速度快、测量精度高、抗干扰能力强、重复性好、溯源性强等优点,广泛应用于测速、测长、测角、测振、测表面光洁度、测激光束通过湍流时光束的扰动、提高望远镜的视轴瞄准精度以及作自适应光学中的鉴相器等领域,获得了比零差干涉仪更高的精度。激光干涉仪的系统精度直接影响测量结果的精确性。本文分析了各种误差因素对激光外差干涉系统测量不确定度的影响,给出了系统的测量不确定度。