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国产TDR－50型单晶炉制备φ3″重掺锑硅单晶的工艺研究
【机 构】
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上海有色金属总公司半导体材料厂
【出 处】
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中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1990年期
其他文献
1、无线电技术。马可尼利用无线电波技术试验成功无线电报机后,加拿大人费森登又发明了无线电广播。2、载波通信技术。1918年,架空明线4路载波电话机问世。载波通信的出现,