【摘 要】
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金刚石薄膜具有优异的物理性能和极高的应用价值。在金刚石薄膜生长过程中掺入硼杂质,可得到具有良好导电性能的p 型金刚石膜。将硼掺杂金刚石薄膜沉积到电极基体如石墨、硅
【机 构】
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上海交通大学环境科学与工程学院 上海 200240
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金刚石薄膜具有优异的物理性能和极高的应用价值。在金刚石薄膜生长过程中掺入硼杂质,可得到具有良好导电性能的p 型金刚石膜。将硼掺杂金刚石薄膜沉积到电极基体如石墨、硅片和钛片等表面上,可制得金刚石膜电极材料,在物理、化学、生物等方面已显示出了极好的应用前景。但是由于天然金刚石的储量有限,使得金刚石在工业中的应用受到限制.
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