【摘 要】
：
本文研究了以低温AlN插入层(LT-AlN)作为应力缓冲层于Si衬底上外延生长GaN的电学特性.采用霍尔效应测试在Si衬底上GaN样品中发现了一种反常的P型现象.这种现象主要是由于外延
【机 构】
：
中山大学,物理科学与工程技术学院,广州510006
【出 处】
：
2013年全国博士生学术论坛——电子薄膜与集成器件
论文部分内容阅读
本文研究了以低温AlN插入层(LT-AlN)作为应力缓冲层于Si衬底上外延生长GaN的电学特性.采用霍尔效应测试在Si衬底上GaN样品中发现了一种反常的P型现象.这种现象主要是由于外延生长时Al原子扩散进Si衬底中并扮演受主杂质所引起的.同时,观察到LT-AlN插入层附近存在一个恒定的n型导电沟道,并在低温下(50K)引起该结构的导电类型转换.通过对比不同结构的外延层两端横向击穿测试,发现LT-AlN插入层引入的n型导电沟道会导致该材料结构的击穿电压下降.而针对该外延结构提高材料击穿电压比较有效的方法是提高顶层GaN的厚度.
其他文献
莲藕保鲜储存百天新技术莲藕是经济价值最高的水生蔬菜品种之一。每年大量供应城乡人民生活需要，并且出口到美国、日本和新加坡等东南亚国家。但是由于成熟时挖出水后的莲藕，长
本文提出了一种基于高阻抗表面的多带平面吸波结构,该结构由有耗频率选择表面和完美电导体以及夹在其中的泡沫板所组成,其中有耗频率选择表面与一般的高阻抗表面结构相比,其
果梅品种形态学分类章镇，蔡斌华，张聪（南京农业大学园艺系南京２１００９５）梅（ＰｒｕｎｕｓｍｕｍｅＳｉｅｂ．ｅｔＺｕｃｃ．）原产于中国，属温带蔷薇科落叶果树［１］，长江以南均有栽培，而以四川、江苏、安徽、湖北、浙江及台湾等省栽培最多，日本亦有
良性前列腺增生症简称BPH,这已经是我国中老年男人最常见的疾病.随着年龄的增加,BPH的发病数量有所增加,该病发生的特征和前列腺质以及上皮细胞的增生有直接的关系.本文主要
目的:研究医院消毒供应室中各个清洁步骤的问题与其护理对策.方法:在2017年1月以前,我院消毒供应室没有查找问题并开展护理,每个人每个月都只固定负责自己的科室,包括回收,清
全国车间空气监测检验方法科研协作组于10月9日至15日在南昌召开了第六次会议。在前两次会议的基础上,经过近两年的实验研究与相互验证,会议一致认为近百项毒物的测定方法已
近些年来,有机薄膜晶体管得到了广泛的研究.其中,在晶体管界面处引入单分子自组装层更是人们常用的改善有机晶体管性能的方法.但是,单分子自组装层对于沟道载流子传输以及有
2010年6月22日,第五届中国品牌传播趋势论坛暨首届中国经典传播大奖颁奖典礼在北京召开,150多位来自传统媒体、新媒体、企业、营销机构和代理公司的代表参加了会议,从品牌传
In this letter, we investigated the influence of the fast thermal treatment on the spin pumping in ferromagnetic insulator yttrium iron garnet (YIG)/normal
以二氯苯甲腈、间苯二酚及对苯二酚为原料,通过改变间苯二酚与对苯二酚间的比例制备了几种聚芳醚腈树脂.采用流涎法制备了芳醚腈薄膜,并对其进行了红外光谱分析和热分析,利用