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研制了计算机程序控制的电晕极化系统，系统由586计算机、加热设备、高压电源、 计算机程序控制硬件设备和软件等组成，实现了电晕极化实验自动化。此实验系统使用方便、灵活、稳定，是极化聚合物材料、光波导和调制器件研究中关键工艺设备，可大大提高工作效率、可靠性、重复性和实验的精度。
计算机程序控制电晕极化系统
【摘 要】
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研制了计算机程序控制的电晕极化系统，系统由586计算机、加热设备、高压电源、 计算机程序控制硬件设备和软件等组成，实现了电晕极化实验自动化。此实验系统使用方便、灵活、稳
【机 构】
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国家光电子工艺中心中国科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
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全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2000年期
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