【摘 要】
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本文采用直流磁控溅射沉积技术在304不锈钢基底上制备了Cr/GLC,Ti/GLC与W/GLC三种薄膜.通过扫描电子显微镜、透射电子显微镜,拉曼光谱、电化学工作站,CRESBOX型四探针测试仪与电子能量损失谱技术(EELS)分别研究了薄膜的导电性以及在腐蚀液5M H2SO4+5ppm NaF的耐蚀性,重点考察了过渡层金属元素选择对非晶碳膜导电性与耐蚀性的影响,分析其常温催化机制.结果 表明：Gr过渡
【机 构】
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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室、浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波工业技术研究所,浙江宁波,315201
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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本文采用直流磁控溅射沉积技术在304不锈钢基底上制备了Cr/GLC,Ti/GLC与W/GLC三种薄膜.通过扫描电子显微镜、透射电子显微镜,拉曼光谱、电化学工作站,CRESBOX型四探针测试仪与电子能量损失谱技术(EELS)分别研究了薄膜的导电性以及在腐蚀液5M H2SO4+5ppm NaF的耐蚀性,重点考察了过渡层金属元素选择对非晶碳膜导电性与耐蚀性的影响,分析其常温催化机制.结果 表明：Gr过渡层在常温下对非晶碳膜的结构起到了显著的催化作用,改变了非晶碳膜中界面处的sp2含量,EELS结果显示Cr与GLC界面处的sp2含量达到62％(相对于HOPG),相较于顶层的44％sp2C提高40％,从而提高了薄膜的导电性,在150N/cm2时,具有最低的接触电阻16.65 mΩ·cm2,较304不锈钢下降了87％左右,其电阻率为2.03×10-6Ω·m.Cr/GLC薄膜对304不锈钢基体起到了显著的防护作用,界面互锁结构阻碍了腐蚀液渗入基底,腐蚀电位为0.25V,腐蚀电流密度最小,为0.894μA/cm2；同时在恒电位极化测试4h后,腐蚀电流密度接近于0,表现出最佳的耐蚀性能.
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