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叠层太阳电池能够有效增加太阳光谱的响应范围,克服单结电池效率的Skockley-Queisser极限,已成为制备高效光伏器件的重要手段之一.然而,由于缺少合适的透明背电极及其制备工艺,因此半透明器件的光电转换效率仍然滞后.为此,我们首先采用软溅射法低温制备非晶α-IZO透明电极,通过调控溅射参数,获得高质量的α-IZO薄膜：在近红外短波段透光率为85％、电阻率为4.18×10-4Ω·cm、迁移率为19.9 cm2·v-1·s-1、载流子浓度为7.46× 1020 cm-3.由此制备出器件结构为玻璃基底/FTO/SnO2/MA0.85FA0.15PbI3/Spiro-OMeTAD/MoO3/α-IZO/Ag的半透明钙钛矿电池,其光电转效率达到15.74％,且在波长为800-1200nm范围内,其平均透光率约为80％.同时,我们还制备出器件结构为柔性不锈钢衬底SS/Mo/CIGS/CdS/ZnO/TCO/Ag的薄膜太阳电池,在无抗反射层情况下,器件光电转换效率达到15.69％(Voc=0.68V,Jsc=32.39mA/cm2,FF=71.33％).最后,构筑出柔性CIGS-钙钛矿四端叠层太阳电池,其 光 电 转 换 效 率 达 到 21.03％ .