【摘 要】
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洁净室空调系统的设计是一个复杂多序的过程，需要大量的计算来保证设计的有效性，除了围护结构、人员、照明的负荷计算外，还需要进行复杂的工艺设备冷热负荷计算、风量平衡计算以
【出 处】
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全国建筑环境与设备第3届技术交流大会
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洁净室空调系统的设计是一个复杂多序的过程，需要大量的计算来保证设计的有效性，除了围护结构、人员、照明的负荷计算外，还需要进行复杂的工艺设备冷热负荷计算、风量平衡计算以及大量的水力平衡计算来确保整个系统的均匀、平衡、合理。集成电路厂房的洁净室能源消耗大，投资大，在满足工艺需求的前提下，采用更合理的方案、更先进的技术来节约能源、减少工程造价，是今后设计中努力的方向。本文结合工程实例,介绍了集成电路项目中维持洁净室洁净度、温度、湿度及正压环境等的设计方法。
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