【摘 要】
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在太赫兹频段,折叠波导慢波结构主要采用微细加工技术完成.讨论了目前折叠波导慢波结构主要的微加工工艺.分析了主要工艺误差包括波导深度、侧壁垂直度对0.41THz折叠波导慢波
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900;中国工程物理研究院太赫兹研究中心四川绵阳621900
【出 处】
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第二届全国太赫兹科学技术与应用学术交流会
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在太赫兹频段,折叠波导慢波结构主要采用微细加工技术完成.讨论了目前折叠波导慢波结构主要的微加工工艺.分析了主要工艺误差包括波导深度、侧壁垂直度对0.41THz折叠波导慢波结构高频特性的影响.通过分析比较,a值对折叠波导行波管性能影响很大,需要在工艺中精确控制.在侧壁垂直度为89°范围以内,侧壁垂直度的变化对折叠波导行波管性能影响不大.通过仿真分析,确定了工艺中必须控制加工精度的工艺步骤,这对0.41THz折叠波导行波管的研制有非常重要的意义。
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