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高温压阻式压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。当前，适于高温环境应用的压力传感器研究备受关注。本文概述了高温压力传感器国内外研究现状，重点介绍了SOI单晶硅高温压力传感器的相关研究工作，对研究工作中的问题和发展趋势进行了深入探讨。
SOI高温压力传感器研究进展及应用
【摘 要】
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高温压阻式压力传感器在军事和民用方面具有广阔的应用前景。当前，适于高温环境应用的压力传感器研究备受关注。本文概述了高温压力传感器国内外研究现状，重点介绍了SOI单晶硅
【机 构】
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传感器国家工程研究中心
【出 处】
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中国仪器仪表学会仪表元件分会第五届仪器仪表元器件研讨会暨广东省仪器仪表学会第二次学术会议
【发表日期】
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2011年期
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