论文部分内容阅读
本论文研究开发了一种新型的采用两自由度压电执行器驱动的两维运动平台,改变了传统的一台驱动器只能执行一维方向运动的形式,而是利用一台驱动器具有两个自由度的运动特点,来实现平台结构的两维运动。该工作台主要有两自由度压电执行器,导轨组件组成的导向部件和工作台三部分组成,该工作台的整体尺寸为110mm×110mm,可以达到50×50mm的移动范围以及300mm/s的速度;以及在牵引砝码250g时,仍然具有57mm/s的速度,该二维工作台具有小型化的特点,可以用于微小型机电系统的精密加工。