【摘 要】
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针对自由曲面光学零件的高效、高精度、超光滑的制造难题,提出了大气等离子体射流化学加工方法.该方法可实现材料的高效,原子级去除,同时可去除机械加工方式引入的损伤层.但
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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针对自由曲面光学零件的高效、高精度、超光滑的制造难题,提出了大气等离子体射流化学加工方法.该方法可实现材料的高效,原子级去除,同时可去除机械加工方式引入的损伤层.但作为近年来出现的新型加工方法,缺乏对其宏-纳尺度超宽尺度范围内的加工机理和表面原子级平坦化过程的系统和深入的探究,其加工过程的可控性和可达性研究也无法深入.本项目旨在从物理及化学本质上揭示等离子体射流的加工机理,在此基础上研究解决加工工艺的可控性和可达性问题,为中国先进光学零件加工领域中的无损伤自由曲面光学元器件的制造技术难题提供有效解决方案.
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