论文部分内容阅读
研制了一种基于激光干涉原理的校准仪，该系统由双频激光干涉长度测量系统、工作台、双动气浮导轨系统、相向运动系统、控制系统及数据采集处理系统等组成，具有分辨率高、定位精度高、测力恒定、可溯源等特点，可实现测头同步相向运动和自动校准等功能。经实验验证，该校准仪重复性测量精度可达到0.027μm，可用于长度测量以及对径传感器的自动校准。