【摘 要】
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以氯化钐为起始原料,采用溶胶–凝胶法在玻璃和Si（100）基板上制备了Sm2O3光学薄膜,在300～800℃对薄膜进行1～3h热处理。采用X射线衍射、原子力显微镜和紫外–可见自记式分光光度计
【机 构】
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陕西科技大学材料科学与工程学院;陕西科技大学材料科学与工程学院陕西咸阳712081;陕西咸阳712081;
【基金项目】
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陕西省自然科学基金(2005E109);陕西科技大学研究生创新基金资助项目。
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以氯化钐为起始原料,采用溶胶–凝胶法在玻璃和Si（100）基板上制备了Sm2O3光学薄膜,在300～800℃对薄膜进行1～3h热处理。采用X射线衍射、原子力显微镜和紫外–可见自记式分光光度计等对薄膜的结晶取向、显微结构和光学性能进行了表征。结果表明Sm2O3薄膜在玻璃基板和Si（100）基板上均表现出沿（311）晶面定向生长的特征;Si基板更有利于生长致密而且结晶良好的薄膜;所制备的薄膜对紫外线有强烈吸收作用,而对可见光有较好的透过作用,随着热处理温度的升高,薄膜结晶性变好,取向性增强,光吸收性能增强,薄膜的禁带宽度减小。
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