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应用电容传感器测量微位移已有很长的历史了，但至今技术仍然不很成熟。该文针对用调频测量法的电容传感器在实际使用中存在的体积大，漂移大等问题提出了一系列的解决办法，并对改进后的传感器进行长短期定性实验及标定，实验结果表明在体积大大减小情况下，分辨率及稳定性都保持相当好的水平。同时也给出了一种测量传感器输出频率的新颖的高速计数电路。