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椭圆偏振测量技术是一种通过测量偏振光经物体反射或透射后偏振态的变化来获取物体各种光学常数以及薄膜材料厚度等信息的光学手段.该技术具有测量精度高、灵敏度高、非破坏性、非接触式等优点,在工业领域和科学研究中应用广泛.尤其在纳米科学领域,椭圆偏振测量技术已经成为与XRD 等表征手段等量齐观的主流技术[1].本文拟介绍近年来我们在椭偏技术研发及该技术在信息功能材料方面应用的一些研究结果.