【摘 要】
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红外探测器由单色、单通道向多色、多通道发展,由单元向线列、面阵等多元器件发展,特别是焦平面阵列红外器件的问世,使得红外技术很快更新换代。星用红外探测器封装主要分为
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理所红外成像材料与器件重点实验室; 中国科学院研究生院;
【基金项目】
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中科院上海技术物理所所内创新基金
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红外探测器由单色、单通道向多色、多通道发展,由单元向线列、面阵等多元器件发展,特别是焦平面阵列红外器件的问世,使得红外技术很快更新换代。星用红外探测器封装主要分为管壳封装和杜瓦封装两种,其中又以杜瓦在低温下使用地更为普遍。在杜瓦封装技术中,焦平面封装技术是其中最关键的技术之一。本文简要介绍星用探测器杜瓦组件的总体封装形式,回顾了国外的焦平面封装技术发展过程,由此根据工程上需要提出了新一代光导线列器件封装的厚膜工艺与薄膜工艺联合的设计方案,并验证了其可行性,交付加工。
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