基于PDMS薄膜的热驱动式微阀仿真分析

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  利用ANSYS10.0软件对热驱动式PDMS微阀进行了热-结构耦合仿真,分别对不同结构尺寸的加热器、腔体结构及PDMS薄膜进行仿真,得到了微阀的优化结构参数。仿真结果表明:加热器电阻条宽度与间距的减小更有利于热量的集中,当达到0.4mm以后其温度分布基本保持不变;随着腔体半径的增加,PDMS薄膜的挠度明显提高;伴随PDMS薄膜厚度的增加,薄膜的轴向位移出现不规则变化。本文的仿真结果为基于PDMS薄膜的热驱动式微阀设计提供了有价值的参考数据。
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