【摘 要】
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<正>随着电子技术的迅猛发展,电子产品日趋向小型化、微型化及多功能化等方向发展。但这些都是以电子元器件的静电敏感度越来越高为代价。因为随着电子产品的小型化、微型化,
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<正>随着电子技术的迅猛发展,电子产品日趋向小型化、微型化及多功能化等方向发展。但这些都是以电子元器件的静电敏感度越来越高为代价。因为随着电子产品的小型化、微型化,组成这些电子产品的元器件不得不向轻、薄、短、小、高密度及多功能方向发展,因此大量的微电子器件,如CMOS中亚微米栅、特种器件GaAs(砷化镓)单片集成电路、高集度的高频IC及其它新型纳米器件等被广泛使用,但其微米级的间隙及纳米级的处理技
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