Zn0.98Nd0.02O薄膜的结构与室温导电特性

来源 :2011中国功能材料科技与产业高层论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：housekingzuo

【摘要】

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Zn0是新型性质优良的半导体光电材料，属于六角纤锌矿结构，通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了Zn0.98Nd0.02O薄膜.薄膜的结构和表面形貌通过XRD分析和AFM观测,表明Nd掺

【作者】

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文军;

【机构】

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渭南师范学院,物理与电气工程学院,渭南,陕西,中国,714000

【出处】

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2011中国功能材料科技与产业高层论坛

【发表日期】

：

2011年期

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Zn0是新型性质优良的半导体光电材料，属于六角纤锌矿结构，通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了Zn0.98Nd0.02O薄膜.薄膜的结构和表面形貌通过XRD分析和AFM观测,表明Nd掺杂没有改变ZnO纤锌矿结构,Zn0.98Nd0.02O薄膜为沿(100)、(101)方向生长的纳米多晶结构,表面形貌粗糙.薄膜的室温Ⅰ-Ⅴ曲线表明了Zn0.98Nd0.02O薄膜的非线性导电特性.其非线性导电特性源于,膜中的载流子受外电场激发而进入导带导电,以及Nd掺杂导致了薄膜中产生的间隙锌缺陷态电离产生的电子导电.在光辐照作用下,增强了Zn0.98Nd0.02O薄膜的导电能力.

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