【摘 要】
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采用多弧离子镀技术,通过改变Ni靶电流和开启的时间,在高速钢基体上沉积出不同Ni含量的TiN/Ni复合膜涂层,用SEM、AFM观察其形貌,用XRD分析复合膜的相结构,用显微硬度计测试薄
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院 北京 100022
【出 处】
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2008年中国机械工程学会年会暨甘肃省学术年会
论文部分内容阅读
采用多弧离子镀技术,通过改变Ni靶电流和开启的时间,在高速钢基体上沉积出不同Ni含量的TiN/Ni复合膜涂层,用SEM、AFM观察其形貌,用XRD分析复合膜的相结构,用显微硬度计测试薄膜硬度,同时初步探索了TiN/Ni纳米复合膜的超硬机理.结果表明:随着Ni含量的增加,晶粒逐渐细化并达到纳米级尺寸,膜层硬度与Ni的含量密切相关,当Ni含量达到1.4at％时,硬度最高,达到47GPa.
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