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A MEMS LAMB WAVE MICRODEVICE BASED ON ZNO THIN FILM
【机 构】
：
Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing, 100190, China,21 Bei-Si-huan-Xi Road,
【出 处】
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2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会
【发表日期】
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2010年10期
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