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会议论文
基于LIGA技术的微细电火花加工研究
基于LIGA技术的微细电火花加工研究
来源 :2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cslxml
【摘 要】
:
实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进
【作 者】
:
彭良强
伊福廷
张院春
张菊芳
韩勇
邹丽芸
【机 构】
:
中国科学院高能物理研究所
【出 处】
:
2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会
【发表日期】
:
2001年期
【关键词】
:
电火花加工技术
微细电火花
制备工具电极
微细结构
同步辐射
实验探讨
加工实验
电铸技术
微细孔
不锈钢
异形
镶嵌
模具
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实验探讨了采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度刻得到具有微细结构的胶模具,使用电铸技术得到镶嵌在胶结构中的铜工具电极,去胶后利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形微细孔.
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